项目名称:合肥晶合12吋晶圆制造基地项目12吋晶圆快速退火处理系统(Lamp),铝金属之物理气相沉积系统等
项目编号:0613-184025053050
招标范围:1 快速退火处理系统(Lamp) 1套
2 铝金属之物理气相沉积系统 1套
3 钛金属与氮化钛之物理气相沉积系统 1套
4 钴金属之物理气相沉积系统 1套
5 金属介电层的二氧化硅薄膜沉积之高密度电浆系统 2套
6 二氧化硅薄膜沉积之电浆增强化学沉积系统(PETEOS) 1套
招标机构:上海机电设备招标有限公司
招标人:合肥晶合集成电路有限公司
开标时间:2018-09-26 10:00
公示时间:2018-09-26 18:33 - 2018-09-29 23:59
中标结果公告时间:2018-09-30 15:30
中标人:Applied?Materials?South?East?Asia?Pte.?Ltd.
制造商:Applied?Materials?South?East?Asia?Pte.?Ltd.(登录名chinaakt)
制造商国家或地区:新加坡